为提高研究生课程教学质量,提升我校研究生课程体系的国际化程度,建设一批高水平的国际化课程,我校启动了“985三期”创新人才培养项目“研究生课程国际化建设”,电子系研究生课程《MEMS设计与集成技术》获得该项目资助。
12月15至23日,应电子科学与技术系邀请,武汉新芯集成电路制造有限公司副总经理,孙宏江博士来我校,为电子系研究生讲授了16学时的《MEMS设计与集成技术》。
孙宏江,博士。1988年获得美国Lehigh大学物理学硕士学位;1993年获得美国Lehigh大学物理学博士学位。1992 – 1996年,孙博士在IBM担任高级研究员,从事半导体工艺方面的研究。1996 – 2009年,孙博士来到Philips半导体公司,成为技术部的高级成员。期间负责包括BEOL,CMP等多项技术的具体应用及优化,取得了丰硕的成果。2010年,孙博士正式担任武汉新芯集成电路制造有限公司副总经理。孙博士在半导体工艺方面有着近20年的行业经验。近年来,孙博士发表了15项专利及论文,是这一领域的杰出专家。
孙博讲授内容主要围绕MEMS(微机电系统)在半导体工艺上的相关技术展开。他从基本的硅工艺技术入手,谈及了当前的主流工艺,并利用其在IBM和Philips公司的从业经验,着重介绍了BEOL,FEOL,CMP等技术。针对MEMS工艺中的相关重点和难点,孙博士用生动的实例,让同学们对这些问题有了深切的认识。然后,孙博士为同学们讲授了IC设计与生产工艺相结合,也就是Design for Manufacture,使得同学们大为关注。同时引得大家踊跃提问,对此孙博士进行了耐心的讲解,以原理与实践结合的方式,让同学们纷纷释疑。接下来孙博士以一个实际产品为例子,通过分析其版图,向同学们说明了工业中器件是如何设计的。
课后,同学们抓住这稍纵即逝的机会,各自提出了自己的疑问,于是师生间展开精彩互动。孙博士一面强调理论,更一面强调实践运用,在解决了同学们学习中遇到的问题之余,更让大家加深了对理论的理解。同时,还向同学们介绍了行业的发展趋势,拓展了大家的视野,使得大家对本专业的研究发展趋势有了进一步了解。对于大家都关心的就业话题,孙博士更是直接点明了我们在学习中需要注意的方面,这样才能使得同学们学到的知识能更好的运用于实践。同学们都说此次课程既学知识又涨见识,受益匪浅。